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프로세스 흐름

I. TFT-LCD의 제조공정은 다음과 같은 부분이 있다.

①, TFT 기판에 TFT 어레이의 형성.

②, 컬러필터 기판 상에 컬러필터 패턴 및 ITO 도전층을 형성한다.

③, XNUMX개의 기판으로 액정 카세트의 형성.

④. 주변 회로 설치, 백라이트 조립 등을 위한 모듈 어셈블리

둘째, TFT 기판 위에 TFT 어레이를 형성하는 공정

산업화 된 TFT의 유형에는 비정질 실리콘 TFT(a-Si TFT), 다결정 실리콘 TFT(p-Si TFT) 및 단결정 실리콘 TFT(c-Si TFT)가 있습니다. 현재, a-Si TFT가 여전히 사용됩니다.

-Si TFT의 제조 공정은 다음과 같다.

①. 먼저 붕규산 유리 기판 상에 게이트 물질막을 스퍼터링하고, 마스크 노광, 현상 및 건식 식각을 거쳐 게이트 배선 패턴을 형성한다. 스텝 노광기를 이용한 일반 마스크 노광.

②. PECVD 방법에 의한 연속 성막으로 SiNx막, 도핑되지 않은 a-Si막, 인 도핑된 n+a-Si막을 형성합니다. 그런 다음 마스크 노광 및 건식 식각을 수행하여 TFT 부분의 a-Si 패턴을 형성합니다.

(iii) 스퍼터링 성막법에 의해 투명 전극(ITO막)을 형성한 후, 마스크 노광 및 습식 에칭으로 표시 전극 패턴을 형성한다.

(4) 게이트 단자의 절연막의 콘택트 홀 패턴은 마스크 노광 및 건식 에칭에 의해 형성된다.

⑤. TFT의 소스, 드레인, 신호선 패턴은 AL 등의 스퍼터링, 마스크 노광, 식각을 통해 형성된다. 보호 절연막은 PECVD법으로 형성하고, 절연막은 마스크 노광 및 건식 에칭(보호막은 게이트, 신호선 전극 및 표시 전극을 보호하기 위해 사용됨)에 의해 에칭된다.

TFT 어레이 공정은 TFT-LCD 제조 공정의 핵심이며 장비 투자가 많이 필요한 부분이기도 하며 전 공정이 높은 정제 조건(예: class 10)을 요구한다.

컬러필터(CF) 기판에 컬러필터 패턴을 형성하는 공정

형성 방법의 컬러 필터 착색 부분은 염료법, 안료 분산법, 인쇄법, 전해증착법, 잉크젯법이 있습니다. 현재, 안료 분산 방법이 주요 방법입니다.

안료분산법은 투명한 포토폴리머에 미세안료(평균입경 0.1μm 이하)(R, G, B 색상)를 균일하게 분산시키는 방법입니다. 그런 다음 순차적으로 코팅, 노출 및 현상하여 RGB 패턴을 형성합니다. 포토에칭 기술은 제조공정에 사용되며, 주로 사용되는 장비는 코팅, 노광, 현상장비입니다.

빛샘을 방지하기 위해 일반적으로 RGB XNUMX색의 교차점에 블랙매트릭스(BM)를 추가한다. 과거에는 스퍼터링으로 단일층의 금속크롬막을 형성했지만, 지금은 금속크롬과 산화크롬을 조합한 BM막이나 탄소와 수지를 혼합한 수지 BM으로 전환하는 방법도 있다.

또한 LCD의 전면기판으로 컬러필터가 부착된 기판과 LCD박스를 형성하기 위해 TFT가 부착된 후면기판을 사용하기 때문에 BM에 보호막을 형성하고 IT0 전극을 형성해야 한다. 따라서 컬러 필터의 각 셀이 TFT 기판의 각 픽셀에 해당하도록 위치 지정 문제에 주의할 필요가 있습니다.

IV. 액정 상자의 준비 과정

기판의 상면과 하면에 각각 폴리이미드 필름을 도포하고, 마찰 공정을 통해 배향막을 형성하여 필요에 따라 분자가 배향되도록 한다. 그 후, 실런트 재료를 TFT 어레이 기판 주위에 놓고 라이너를 기판에 분사합니다. 동시에 CF 기판의 투명전극단에 은 페이스트를 도포한다. 그런 다음 CF 패턴이 TFT 픽셀 패턴과 정렬되도록 두 기판을 정렬하여 접합한 다음 열처리에 의해 밀봉재를 경화시킨다. 밀봉재를 인쇄할 때 액정의 진공 주입을 위해 주입구를 남겨 두어야 합니다.

최근에는 기술의 진보와 기판의 대형화에 따라 결정주입 방식의 변화를 대표하는 상자의 생산공정이 주입 후 원래의 상자에서 크게 개선되고 있다. ODF 방법, 즉 크리스탈 주입 및 상자 동기화. 게다가 . 매트 방식은 더 이상 전통적인 스프레이 방식이 아니라 포토리소그래피 생산과 함께 어레이에 직접 적용됩니다.

V. 주변 회로 및 백라이트 어셈블리의 모듈 조립 공정

LCD 상자 생산 공정이 완료된 후 주변 드라이버 회로를 패널에 설치한 다음 두 기판 표면에 편광판을 붙여야 합니다. 투과형 LCD의 경우. 백라이트도 설치되어 있습니다.

재료와 공정은 제품의 성능에 영향을 미치는 두 가지 주요 요소이며, 위의 XNUMX가지 주요 공정을 거친 TFT-LCD, 우리가 보는 제품을 형성하는 수많은 복잡한 생산 공정.

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